特許
J-GLOBAL ID：200903045267215099

ドライフィルムレジスト支持体用二軸配向ポリエステルフィルム

発明者：
渡部 誉之

渡部 誉之 について

, 
小山松 淳

小山松 淳 について


出願人/特許権者：
帝人デュポンフィルム株式会社

帝人デュポンフィルム株式会社 について


代理人 (1件)： 三原 秀子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-212774
公開番号（公開出願番号）：特開2006-028440
出願日： 2004年07月21日
公開日（公表日）： 2006年02月02日
要約：
【課題】透明性、特に波長365nm近辺の平行光線透過率、及び波長365nmでのHaze値、引裂性、滑り性、巻き取性、解像度、そしてリサイクル性を満足するドライフィルムフォトレジスト用ポリエステルフィルムを提供する。【解決手段】365nmにおける平行光線透過率が80%以上で、365nmにおけるHaze値が6.0%以下である、厚みが10μm以上25μm以下の二軸延伸ポリエステルフィルム。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
波長365nmの平行光線透過率が80%以上で、波長365nmにおけるHaze値が6.0%以下であるドライフィルムレジスト支持体用二軸配向ポリエステルフィルム。
IPC (5件)：
C08J 5/18 ,  B29C 55/12 ,  B32B 27/36 ,  C08K 3/00 ,  C08L 67/02
FI (5件)：
C08J5/18 ,  B29C55/12 ,  B32B27/36 ,  C08K3/00 ,  C08L67/02
Fターム (58件)：
4F071AA46 ,  4F071AB05 ,  4F071AB06 ,  4F071AB18 ,  4F071AB21 ,  4F071AB26 ,  4F071AE17 ,  4F071AE22 ,  4F071AF16Y ,  4F071AF30Y ,  4F071BA01 ,  4F071BB06 ,  4F071BB07 ,  4F071BB08 ,  4F071BC01 ,  4F071BC14 ,  4F100AK41A ,  4F100AK41C ,  4F100AK42A ,  4F100AK42C ,  4F100AT00B ,  4F100BA03 ,  4F100BA06 ,  4F100BA10A ,  4F100BA10C ,  4F100DE01A ,  4F100DE01C ,  4F100EJ38A ,  4F100EJ38C ,  4F100GB43 ,  4F100JK03 ,  4F100JK03A ,  4F100JK03C ,  4F100JK08 ,  4F100JN30A ,  4F100JN30C ,  4F100YY00 ,  4F100YY00A ,  4F100YY00C ,  4F210AA24 ,  4F210AB17 ,  4F210AC04 ,  4F210AG01 ,  4F210AG03 ,  4F210AH36 ,  4F210QC05 ,  4F210QC06 ,  4F210QG01 ,  4F210QG15 ,  4F210QG18 ,  4J002CF061 ,  4J002CP032 ,  4J002DA057 ,  4J002DA117 ,  4J002DE146 ,  4J002DJ016 ,  4J002FD012 ,  4J002FD016
引用特許：
出願人引用 (1件)

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