研磨ドレッシング用工具及びその製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-035606
公開番号（公開出願番号）：特開2001-252873
出願日： 2001年02月13日
公開日（公表日）： 2001年09月18日
要約：

【要約】【課題】半導体ウエハなどのように精密、平坦であり、微細研磨が要求される被切削材の表面を機械的、化学的に平坦化研磨することに使用される研磨ドレッシング用工具及びその製造方法を提供する。【解決手段】研磨粒子をニッケル系ブレージング金属を用いて焼結融着して固定させた後、焼結表面から割れるとか、外れ出しやすい未焼結の部分と再結晶された部分とを展着コーティング処理により充填させたり、覆ったりすることにより、マクロ及びマイクロスクラッチを画期的に減らし、被研磨製品の不良率を低めて研磨寿命を高めることができる。

請求項（抜粋）：

(1)ブレージング金属ボンドのスラリを所望の厚さで金属基板上にコーティングする段階と;(2)前記(1)のスラリ上に一定量の超砥粒粒子とか、立方晶窒化ホウ素(CBN)、またはダイヤモンド粒子を均一に分散させる段階と;(3)前記(2)の金属基板全体を水素で、または真空状態の炉で700〜1300°C以下の焼結温度で加熱し、ブレージングボンドを溶融、固着させて金属焼結層を形成する段階と;(4)前記(3)の焼結された金属焼結層に存在する未焼結の部分と再結晶された部分とを充填させたり、覆ったりするために金属焼結層の表面にのみ、メッキ液中で展着コーティングを実施する段階とを含むことを特徴とする研磨ドレッシング用工具の製造方法。

IPC (6件)：

B24D 3/00 310 , B24D 3/00 320 , B24D 3/00 340 , B24B 53/12 , B24D 3/06 , H01L 21/304 622

FI (7件)：

B24D 3/00 310 D , B24D 3/00 320 B , B24D 3/00 340 , B24B 53/12 Z , B24D 3/06 A , B24D 3/06 B , H01L 21/304 622 M

引用特許：

審査官引用 (2件)

超砥粒砥石
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-297524 出願人：大阪ダイヤモンド工業株式会社
超砥粒砥石
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-150516 出願人：大阪ダイヤモンド工業株式会社

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