特許
J-GLOBAL ID：200903045312656743
荷電粒子の捕獲供給装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
工業技術院産業技術融合領域研究所長
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-215698
公開番号（公開出願番号）：特開平9-061597
出願日： 1995年08月24日
公開日（公表日）： 1997年03月07日
要約：
【要約】【課題】 広い質量範囲の荷電粒子を所定の空間に捕獲すると同時に、特定の値以上の質量の粒子を自動的選択的に捕獲空間の外部に供給する装置を提供する。【解決手段】 荷電粒子の捕獲供給装置は中心軸の回りに対称的に配置された4本以上の偶数本の柱状電極からなる中心電極と、それぞれの柱状電極の一端部を取り囲む外部電極と、偶数本の柱状電極のそれぞれに交互に位相の反転した交流電圧を供給するように接続された交流電源と、この交流電源に柱状電極と外部電極との間の空間に存在する荷電粒子に対して柱状電極に向かう引力として作用する直流バイアスを与える直流電源とを具えている。
請求項（抜粋）：
中心軸の回りに対称的に配置された4本以上の偶数本の柱状電極からなる中心電極と、前記偶数本の柱状電極のそれぞれの一端部を取り囲む外部電極と、前記偶数本の柱状電極のそれぞれに交互に位相の反転した交流電圧を供給するように接続された交流電源と、この交流電源に前記偶数本の柱状電極と前記外部電極との間の空間に存在する荷電粒子に対して前記柱状電極に向かう引力として作用する直流バイアスを与える直流電源とから成ることを特徴とする荷電粒子の捕獲供給装置。
IPC (4件)：
G21K 1/00
, C01B 23/00
, G21K 1/08
, H01J 49/42
G21K 1/00 A
, C01B 23/00 Z
, G21K 1/08
, H01J 49/42
