石英ガラスルツボ用合成シリカガラス粉及びその製造方法、並びに合成シリカガラス粉を用いた石英ガラスルツボの製造方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：松山允之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-076101
公開番号（公開出願番号）：特開2001-261353
出願日： 2000年03月17日
公開日（公表日）： 2001年09月26日
要約：

【要約】【課題】高純度を維持しつつ、高温加熱時における石英ガラスルツボ内層の気泡発生を抑止し、シリコン単結晶の結晶化率(DF率)を向上させる合成石英ガラスルツボを実現する。【解決手段】ゾルゲル法により製造された非晶質シリカ粉を水素雰囲気中で800〜1300°Cに加熱することにより、シリコン単結晶引き上げ用石英ガラスルツボ用として最適な合成シリカガラス粉を製造する。また、得られる合成シリカガラス粉は、アーク溶融法により石英ガラスルツボに成型され、高いDF率の石英ガラスルツボが得られる。

請求項（抜粋）：

ゾルゲル法で製造された非晶質シリカ粉であって、フーリエ変換式赤外分光光度計で測定した透過率スペクトルにおいて、波数2360cm-1及び2330cm-1での吸収帯が認められないことを特徴とする石英ガラスルツボ用合成シリカガラス粉。

IPC (2件)：

C03B 20/00 , C01B 33/18

FI (3件)：

C03B 20/00 D , C03B 20/00 H , C01B 33/18 E

Fターム (14件)：

4G014AH08 , 4G072AA25 , 4G072BB05 , 4G072BB13 , 4G072DD02 , 4G072GG03 , 4G072HH16 , 4G072JJ01 , 4G072LL01 , 4G072MM36 , 4G072RR11 , 4G072TT01 , 4G072TT30 , 4G072UU01

引用特許：

審査官引用 (10件)

合成石英粉の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-303872 出願人：三菱化学株式会社
特開平3-115187
特開平3-174333

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