特許

J-GLOBAL ID：200903045347151768

オゾン流量制御装置

発明者： 松若 敦二
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： 若林 忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-148107
公開番号（公開出願番号）：特開平10-338506
出願日： 1997年06月05日
公開日（公表日）： 1998年12月22日
要約：

【要約】【課題】 O2 にN2 を少量添加してO3 ガスを発生させて常圧CVD法を実施する際に、N2 ガスを含有するO3 ガスラインに用いるオゾン流量制御装置のセンサー配管の入口近傍にN2 O5 が付着蓄積して流量制御が不正確になるのを防止する。【解決手段】 オゾン流量制御装置を通過するN2 を含有するオゾンガスの温度が47°Cないし60°Cの範囲になるように制御する。

請求項（抜粋）：

N2 を含有するオゾンの供給量を制御するオゾン流量制御装置において、該オゾン流量制御装置を通過するN2 を含有するオゾンガスの温度が47°Cないし60°Cの範囲になるように制御されていることを特徴とするオゾン流量制御装置。

IPC (3件)：

C01B 13/11 ,  G05D 11/02 ,  H01L 21/205

FI (3件)：

C01B 13/11 K ,  G05D 11/02 ,  H01L 21/205

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 特公平6-021010
  
• 気相成長方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-232446   出願人：日本電気株式会社