塗布方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-293208
公開番号（公開出願番号）：特開平6-151292
出願日： 1992年10月30日
公開日（公表日）： 1994年05月31日
要約：

【要約】【目的】基板面に均一な層厚になった有効塗布膜が得られる。【構成】塗布液が入った容器にバーコータを設置し、バーコータ上に送りローラを配置した塗布装置を用いて、下記(i) 乃至(iii) の工程順にバーコータと送りローラとの間に基板を搬送することによってバーコータの回転とともに基板面にバーコータの周面に付着した塗布液を層状に塗布せしめることを特徴とする塗布方法。(i) バーコータの周速度に実質上一致した速度で基板を搬送する。(ii)バーコータの周速度を基板の搬送速度に比べて大きくしながら基板を搬送するか、もしくは基板の搬送を止める。(iii) バーコータの周速度に実質上一致した速度で基板を搬送する。

請求項（抜粋）：

塗布液が入った容器の該塗布液の界面付近にバーコータを設置し、該バーコータ上に送りローラを配置した塗布装置を用いて、下記(i) 乃至(iii) の工程順にバーコータと送りローラとの間に基板を搬送することによってバーコータの回転に伴うバーコータの周面に付着した塗布液を基板に層状に塗布せしめることを特徴とする塗布方法。(i) バーコータの周速度に実質上一致した速度で基板を搬送する。(ii) バーコータの周速度を基板の搬送速度に比べて大きくしながら基板を搬送するか、もしくは基板の搬送を止める。(iii)バーコータの周速度に実質上一致した速度で基板を搬送する。

IPC (4件)：

H01L 21/027 , B05C 1/02 102 , B05D 1/28 , G03F 7/16

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開昭61-139027
塗布装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-274252 出願人：京セラ株式会社

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