特許

J-GLOBAL ID：200903045448831700

処理液の製造装置、製造方法及び基板の処理装置

発明者： 濱田 晃一 ,  黒川 禎明 ,  目黒 敏広
出願人/特許権者： 芝浦メカトロニクス株式会社
代理人 (6件)： 鈴江 武彦 ,  河野 哲 ,  中村 誠 ,  蔵田 昌俊 ,  村松 貞男 ,  橋本 良郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-072111
公開番号（公開出願番号）：特開2004-275917
出願日： 2003年03月17日
公開日（公表日）： 2004年10月07日
要約：

【課題】この発明は簡単な構成で精度よく複数種の液体を混合して処理液を作ることができる製造装置を提供することにある。【解決手段】各液体を供給するための複数の供給部4〜6と、各供給部に一端が接続された複数の供給管路1〜3と、各供給管路の中途部にそれぞれ設けられ各供給部から各供給管路に供給された液体を所定の圧力に減圧する複数の減圧弁11,24,34と、各減圧弁の下流側に設けられ各減圧弁で所定の圧力に減圧された各液体に負荷を与えるオリフィス12,25,35と、各供給管路の他端が接続され減圧弁とオリフィスとで所定の流量に制御された各液体が流入して混合される調合タンク14とを具備する。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

複数種の液体を混合して作られる処理液の製造装置において、 各液体を供給するための複数の供給部と、 各供給部に一端が接続された複数の供給管路と、 上記各供給管路の中途部にそれぞれ設けられ上記各供給部から各供給管路に供給された液体を所定の圧力に減圧する複数の減圧弁と、 各減圧弁の下流側に設けられ各減圧弁で所定の圧力に減圧された各液体に負荷を与えるオリフィスと、 各供給管路の他端が接続され上記減圧弁とオリフィスとで所定の流量に制御された各液体が流入して混合される調合タンクと を具備したことを特徴とする処理液の混合装置。

IPC (7件)：

B01F15/04 ,  B08B3/08 ,  C11D7/06 ,  C11D7/18 ,  C11D7/32 ,  H01L21/304 ,  H01L21/306

FI (7件)：

B01F15/04 D ,  B08B3/08 Z ,  C11D7/06 ,  C11D7/18 ,  C11D7/32 ,  H01L21/304 647Z ,  H01L21/306 J

Fターム (22件)：

3B201AA02 ,  3B201AA03 ,  3B201BB93 ,  3B201BB94 ,  3B201BB96 ,  4G037BA01 ,  4G037BB06 ,  4G037BC01 ,  4G037BD04 ,  4G037BE01 ,  4G037BE03 ,  4H003BA12 ,  4H003DA14 ,  4H003DA15 ,  4H003DB03 ,  4H003EA23 ,  4H003ED02 ,  4H003EE04 ,  5F043BB27 ,  5F043EE28 ,  5F043EE29 ,  5F043EE31

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 薬液混合装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-236655   出願人：ヤマホ工業株式会社