特許

J-GLOBAL ID：200903045496112015

セラミックス微粒子の製造方法

発明者： 市川 洋 ,  飯島 賢二 ,  北川 雅俊
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 滝本 智之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-295116
公開番号（公開出願番号）：特開平11-128730
出願日： 1997年10月28日
公開日（公表日）： 1999年05月18日
要約：

【要約】【課題】 短時間で、均一にセラミックスの超微粒子を作製する方法の提供。【解決手段】 ガラス基板1上に、アモルファスセラミックス膜2を堆積し、その後、波長248nmのKrFエキシマレーザーパルス3を照射して、膜2内に、セラミックス超微粒子を作製する。

請求項（抜粋）：

パルス幅1μsec以下のレーザーパルス光を非晶質セラミックスに照射するセラミックス微粒子の製造方法。

IPC (4件)：

B01J 19/12 ,  C04B 35/626 ,  H03H 3/08 ,  H03H 9/25

FI (4件)：

B01J 19/12 H ,  H03H 3/08 ,  H03H 9/25 C ,  C04B 35/00 A