特許

J-GLOBAL ID：200903045503370270

露光装置

発明者： 滝口 雅夫 ,  白数 廣 ,  森 晋 ,  菊池 哲男 ,  山元 規彰
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 立石 篤司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-160062
公開番号（公開出願番号）：特開平8-330218
出願日： 1995年06月02日
公開日（公表日）： 1996年12月13日
要約：

【要約】【目的】 投影領域相互間の経時的な光量ムラに起因する露光不良の発生を防止する。【構成】 露光開始前に、センサ24によって各投影領域内の照明光の光量が基板14表面とほぼ同一面上で検出される。制御部48では、センサ24の出力を取り込んで全ての投影領域の光量が均一となるように、透過率が露光装置の走査方向に沿って連続的に変化する各平面フィルタ42をフィルタ駆動部44を介してそれぞれ独立して駆動する。これによって、露光開始前に全ての投影領域の照度が均一となる。露光中は、制御部48は、各照明光学系内に配置されたセンサ46によって当該各照明光学系内の照明光の光量をモニタしつつ、フィルタ駆動部44を介して平面フィルタ42を駆動する。

請求項（抜粋）：

マスクと感光基板とを所定の走査方向に同期して移動しつつ前記マスク上のパターンを投影光学系を介して前記感光基板上に逐次転写する露光装置であって、前記マスク上の複数の部分領域のそれぞれを照明する複数の照明光学系と;前記各照明光学系に対応してそれぞれ配置され、前記マスク上の前記各部分領域の像を前記感光基板上にそれぞれ投影する複数の投影光学系と;前記各照明光学系に少なくとも各1つ設けられ、前記走査方向に沿って透過率が連続的に増加又は減少する部分を有する複数の平面フィルタと;前記各部分領域の像がそれぞれ投影される各投影領域内の検出領域に照射される照明光の光量を前記感光基板表面とほぼ同一面上で検出する第1の光量センサと;前記各照明光学系内に配置され、当該各照明光学系内の照明光の光量を検出する複数の第2の光量センサと;前記複数の平面フィルタを独立して走査方向に駆動する駆動手段と;前記第1の光量センサ及び前記複数の第2の光量センサの出力を選択的に取り込むと共にこの出力に基づいて前記駆動手段を制御する制御手段とを有する露光装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521

FI (4件)：

H01L 21/30 515 D ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 516 D ,  H01L 21/30 516 C

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-161588   出願人：株式会社ニコン
• 露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-030150   出願人：株式会社ニコン
• 特開平2-244707
  
• 特開昭62-193125