特許

J-GLOBAL ID：200903045506708744

収納カセット

発明者： 長田 喜富 ,  石尾 則明
出願人/特許権者： 株式会社アドバンスト・ディスプレイ
代理人 (1件)： 朝日奈 宗太 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-269853
公開番号（公開出願番号）：特開平9-115997
出願日： 1995年10月18日
公開日（公表日）： 1997年05月02日
要約：

【要約】【課題】 搬送および保管する工程で基板にゴミなどの異物の付着や有機ガスなどのミストの付着を低減することができるとともに、基板の取り出し作業および収納作業が自動化できる収納カセットを提供する。【解決手段】 上部体1と、下部体2と、該下部体2に立設して前記上部体1を支持する支持体3とからなり、該支持体3に複数の基板7を水平及び垂直に取り出しおよび収納できる開口部6を有する箱型の収納カセットであって、前記開口部6側の上部体1の両側部に取り付けられた開閉機構Aにより前記開口部6を開放および密閉するために開閉自在に支持された扉4が設けられている。

請求項（抜粋）：

上部体と、下部体と、該下部体に立設して前記上部体を支持する支持体とからなり、該支持体に複数の基板を水平及び垂直に取り出しおよび収納できる開口部を有する箱型の収納カセットであって、前記開口部側の上部体の両側部に取り付けられた開閉機構により前記開口部を開放および密閉するために開閉自在に支持された扉が設けられてなることを特徴とする収納カセット。

IPC (2件)：

H01L 21/68 ,  B65D 85/86

FI (2件)：

H01L 21/68 T ,  B65D 85/38 R

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭64-089336
  
• 真空容器の汚染防止構造
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-311328   出願人：株式会社荏原製作所
• 可搬式密閉コンテナ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-149547   出願人：神鋼電機株式会社
• 特開昭64-089336