特許
J-GLOBAL ID：200903045523738533
表面弾性波装置の製造方法及び表面弾性波装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山崎 崇裕
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-153776
公開番号（公開出願番号）：特開2007-325013
出願日： 2006年06月01日
公開日（公表日）： 2007年12月13日
要約：
【課題】圧電基板の櫛歯電極及び反射器との間の空間を形成する空間形成体を簡単に形成することができる表面弾性波装置の製造方法及び表面弾性波装置を提供すること。【解決手段】表面弾性波装置の製造方法は、圧電基板12上にて櫛歯電極13,14及び反射器19を覆うように犠牲層を形成する犠牲層形成ステップと、この犠牲層の表面に沿って反射器19の近傍に開口部8を形成しつつ空間形成体7を形成する空間形成体形成ステップと、空間形成体7の開口部8から犠牲層を取り除く犠牲層除去ステップと、空間形成体7によって櫛歯電極13,14及び反射器19との間に励振保護空間7cが形成された表面弾性波素子11を封止樹脂によって封止する樹脂封止ステップとを有する。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
圧電基板と、この圧電基板に生じる表面弾性波と電気信号とを相互に変換する機能を有した櫛歯電極と、表面弾性波の伝搬方向でみて前記櫛歯電極に隣接して配置され、前記圧電基板に伝搬する表面弾性波を前記櫛歯電極に向けて反射する反射器とを備え、前記圧電基板の表面のうち前記櫛歯電極及び前記反射器が形成された領域を覆う空間部を残した状態で少なくとも前記圧電基板の表面が封止樹脂により封止された構造を有する表面弾性波装置の製造方法において、 前記圧電基板の表面に形成された金属膜をエッチングし、完成状態で前記圧電基板の表面に表面弾性波を伝搬させる予定の方向に配列された前記櫛歯電極及び前記反射器を形成するエッチングステップと、 前記圧電基板の表面上で前記櫛歯電極及び前記反射器を覆う位置に、前記空間部の形状に相当する外形を有した犠牲層を前記予定の方向に沿って形成する犠牲層形成ステップと、 前記予定の方向に沿う前記犠牲層の外面に沿って材料を付着させることで、前記予定の方向に沿う前記犠牲層の外面を取り囲み、かつ前記予定の方向でみた端部には前記犠牲層を露出させる開口を有した状態で前記圧電基板の表面に設置された空間形成体を形成するする空間形成体形成ステップと、 前記空間形成体の開口を通じて前記圧電基板の表面上から前記犠牲層を取り除く犠牲層除去ステップと、 前記犠牲層を取り除いた後、前記空間形成体によって前記櫛歯電極及び前記反射器との間に前記空間部が形成された状態で前記圧電基板の表面を封止樹脂によって封止する樹脂封止ステップとを有することを特徴とする表面弾性波装置の製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (11件)：
5J097AA34
, 5J097BB11
, 5J097DD18
, 5J097FF05
, 5J097GG03
, 5J097GG04
, 5J097HA04
, 5J097JJ03
, 5J097JJ06
, 5J097JJ09
, 5J097KK10
