特許
J-GLOBAL ID：200903045533259072

ストリートピッチ自動計測システム

発明者：
関家 一馬

関家 一馬 について


出願人/特許権者：
株式会社ディスコ

株式会社ディスコ について


代理人 (1件)： 秋元 輝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-129811
公開番号（公開出願番号）：特開平7-321073
出願日： 1994年05月20日
公開日（公表日）： 1995年12月08日
要約：
【要約】【目的】 パターンマッチングの手法を利用し、自動的に半導体ウェーハのストリートピッチを計測出来るようにする。【構成】 半導体ウェーハを保持する保持手段と、ウェーハの表面を撮像する撮像手段と、保持手段と撮像手段とを割り出し方向に移動させる移動手段と、その移動距離を計測する計測手段とを少なくとも有する。適切なキーパターンを自動的に抽出するステップと、抽出したキーパターンに基づいてウェーハ上を光学手段で走査し隣接する2個のキーパターンと同一のパターンを検出するステップと、この2個のパターンピッチを算出し、且つ登録するステップと、この距離をDとした場合にDN(N≧2の整数)の距離にキーパターンと同じパターンが存在するかを確認し、近傍の時には補正するステップと、を少なくとも含む。
請求項（抜粋）：
半導体ウェーハを保持する保持手段と、この保持手段に保持されたウェーハの表面を撮像する撮像手段と、保持手段と撮像手段とを相対的に割り出し方向に移動する移動手段と、この移動手段による移動距離を計測する計測手段と、を少なくとも含み、前記撮像手段によって撮像されたアナログ信号をデジタル信号に変換し、パターンマッチングを遂行する第1のパターンマッチングステップと、キーパターンと同一のパターンを検出した際、この計測手段に基づく第1の計測値を確認する第1の位置確認ステップと、移動手段の下で次のキーパターンと同一のパターンを検出するための第2のパターンマッチングステップと、キーパターンと同一のパターンを検出した際、この計測手段に基づく第2の計測値を確認する第2の位置確認ステップと、第1の計測値と第2の計測値に基づいてパターン間の距離Dを算出する算出ステップと、距離DをもってストリートピッチとしてCPUに登録する登録ステップと、から構成されるストリートピッチ自動計測システム。
IPC (2件)：
H01L 21/301 ,  B23Q 17/24
引用特許：
審査官引用 (3件)

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