特許

J-GLOBAL ID：200903045533956210

モールドおよびその製造方法

発明者： 川口 泰秀 ,  浅川 昭彦
出願人/特許権者： 旭硝子株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-150075
公開番号（公開出願番号）：特開2007-320072
出願日： 2006年05月30日
公開日（公表日）： 2007年12月13日
要約：

【課題】光硬化性樹脂に対して適度な濡れ性を有するとともに、優れた離型性を有し、機械的強度、形状安定性を備えた、光硬化性樹脂を成形するための微細パターンを有するモールド、および該モールドを欠陥なく製造できる方法の提供。【解決手段】基材11と、プライマー層12と、反応性官能基を有し主鎖にペルフルオロ脂肪族環構造を有するペルフルオロポリマーを含む膜からなり、表面にパターンが形成されたパターン層13とをこの順に有するモールド10。基材11上にプライマー層12を形成する工程と、プライマー層上にペルフルオロポリマーを含む膜23を形成する工程と、ペルフルオロポリマーを含む膜23に加熱されたオリジナルモールド40を押しあてる工程と、ペルフルオロポリマーを含む膜23からオリジナルモールド40を分離しパターン層13を形成する工程とを有する、モールド10の製造方法。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基材と、プライマー層と、 反応性官能基を有し主鎖にペルフルオロ脂肪族環構造を有するペルフルオロポリマー(F1)を含む膜からなり、表面にパターンが形成されたパターン層と をこの順に有することを特徴とするモールド。

IPC (4件)：

B29C 33/40 ,  B82B 1/00 ,  B82B 3/00 ,  H01L 21/027

FI (4件)：

B29C33/40 ,  B82B1/00 ,  B82B3/00 ,  H01L21/30 502D

Fターム (9件)：

4F202AA44 ,  4F202AF01 ,  4F202AJ03 ,  4F202AJ09 ,  4F202AJ11 ,  4F202CA30 ,  4F202CB01 ,  4F202CD02 ,  5F046AA28

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 段付き鋳張り捺印式リソグラフィー
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2000-604271   出願人：ボード・オヴ・リージェンツ,ザ・ユニヴァーシティ・オヴ・テキサス・システム
• 米国特許出願公開第2006/0021533号明細書