ガス分析装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：中西次郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-353178
公開番号（公開出願番号）：特開2001-165907
出願日： 1999年12月13日
公開日（公表日）： 2001年06月22日
要約：

【要約】【課題】本発明の目的は、減圧雰囲気のガス種の分圧比とともに全圧の計測を可能とし、各ガス種分圧の正確な計測が可能なガス分析装置を提供することにある。【解決手段】円筒状のグリッド及びその外側に配置されたフィラメントからなる、ガスをイオン化するイオン源と、グリッドの一端部に隣接し、その中心軸と同一軸上に設けられたイオンを引き出すための引出し電極と、引出されたイオンを分別する質量分析器と、質量分別されたイオンを検出する分圧用コレクタと、中心軸上に配置された全圧用コレクタと、からなり、グリッド内に電界方向の異なる二つの領域を同時に形成し、又は、電界方向が異なる二つの状態を交互に形成して、全圧用コレクタ及び分圧用コレクタに流れる電流により、混合ガスの全圧及び分圧比を計測可能な構成としたことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

混合ガスの分圧を計測するガス分析装置であって、円筒状のグリッド及び該グリッド外側に配置されたフィラメントからなる、ガスをイオン化するイオン源と、前記グリッドの一端部に隣接し、その中心軸と同一軸上に設けられたイオンを引き出すための引出し電極と、引出されたイオンを分別する質量分析器と、質量分別されたイオンを検出する分圧用コレクタと、前記中心軸上に配置された全圧用コレクタと、からなり、前記グリッド内に電界方向の異なる二つの領域を同時に形成し、前記全圧用コレクタ及び分圧用コレクタに流れる電流により、混合ガスの全圧及び分圧比を同時に計測可能な構成としたことを特徴とするガス分析装置。

IPC (3件)：

G01N 27/62 , G01L 21/30 , H01J 41/04

FI (3件)：

G01N 27/62 B , G01L 21/30 , H01J 41/04

Fターム (7件)：

2F055AA39 , 2F055BB08 , 2F055CC46 , 2F055DD20 , 2F055EE40 , 2F055FF49 , 2F055GG11

引用特許：

出願人引用 (5件)

質量分光計において分圧の測定を訂正する方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-074686 出願人：レイボールドインフィコン,インコーポレイテッド
特公平4-015577
全圧コレクタのためのイオン捕集電極
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-074685 出願人：レイボールドインフィコン,インコーポレイテッド

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審査官引用 (6件)

質量分光計において分圧の測定を訂正する方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-074686 出願人：レイボールドインフィコン,インコーポレイテッド
特公平4-015577
特公平4-015577

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