特許
J-GLOBAL ID：200903065579613394
全圧コレクタのためのイオン捕集電極
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山本 秀策
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-074685
公開番号（公開出願番号）：特開平11-040099
出願日： 1998年03月23日
公開日（公表日）： 1999年02月12日
要約：
【要約】【課題】 異なるイオンの種類の検出に関し、質量分析計の全体的な性能を低下させる可能性のある二次電子電流の悪影響を克服し、デュアルイオンまたは他のイオンソースにおいて使用されるような、二次電子をイオン測定装置から離れるように方向付ける全圧コレクタを提供すること。【解決手段】 質量分析計ガス分析器は、規定されたイオン容積中の試料ガスのイオンを生成するためのイオンソースを含む。イオン分析器は、生成されたイオンの第1の部分を回収しおよび分析し、試料ガス中の選択されたガス種の分圧を決定する。反対に配置されたイオンコレクタは、イオンの第2の部分を回収し、含有ガス試料の全圧を決定する。イオンコレクタの回収面は、入射イオンビームに関係して位置され、イオン電流の回収を可能にするが、その表面は、イオンコレクタを用いてイオン衝突により生成される複数の二次電子の実質的な部分がイオン化容積から離れるように偏向されるように構成される。従って、分圧は、二次電子がイオン分析器に入ることなくイオン分析器によって決定される。
請求項（抜粋）：
規定されたイオン化容積中において試料ガスのイオンを生成するソース手段と、該生成されたイオンの第1の部分を回収および分析して、該試料ガス中の選択されたガス種の分圧を決定する第1の分析手段と、該イオンの第2の部分を回収および分析して、該ガス試料の全圧を決定する第2の分析手段と、該第2の分析手段により生成された複数の二次電子の実質的な部分を、該イオン化容積から離すように偏向する偏向手段とを含む、質量分析計ガス分析器。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01J 49/06
, G01N 27/62 G
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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