特許
J-GLOBAL ID：200903045565606149
シリコン単結晶引き上げ装置用のルツボ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
廣江 武典
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-229811
公開番号（公開出願番号）：特開平10-072291
出願日： 1996年08月30日
公開日（公表日）： 1998年03月17日
要約：
【要約】【課題】 C/Cコンポジットという基材を採用することによって、全体の薄肉化及び軽量化、さらには一体化を図ることができて、C/CコンポジットとSiOガスとの反応による珪化を防止して珪化層脱落が生じないようにすることができて、耐久性が高いルツボを提供すること。【解決手段】 保護容器12の基材12aをC/Cコンポジットにより形成し、かつこの基材12aの少なくとも上部の表面に熱分解炭素からなる被膜12bを形成したこと。
請求項（抜粋）：
シリコン単結晶引き上げ装置を構成するヒータの内側に配置されて、このヒータからの熱を受けてシリコン材料を溶融するために、このシリコン材料を直接収納する石英ルツボと、この石英ルツボを外側から包み込む保護容器とにより構成したルツボであって、この保護容器の基材をC/Cコンポジットにより形成し、かつ、この基材の少なくとも上部表面に熱分解炭素からなる被膜を形成したことを特徴とするシリコン単結晶引き上げ装置用のルツボ。
IPC (3件)：
C30B 29/06 502
, C30B 15/12
, H01L 21/208
C30B 29/06 502 B
, C30B 15/12
, H01L 21/208 P
