特許

J-GLOBAL ID：200903045588995886

酸化ガリウム単結晶の製造方法

発明者： 大平 重男 ,  鈴木 悟仁 ,  宍戸 統悦 ,  菅原 孝昌 ,  中嶋 一雄
出願人/特許権者： 日本軽金属株式会社 ,  国立大学法人東北大学
代理人 (4件)： 佐々木 一也 ,  成瀬 勝夫 ,  中村 智廣 ,  鳥野 正司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-217675
公開番号（公開出願番号）：特開2008-037725
出願日： 2006年08月10日
公開日（公表日）： 2008年02月21日
要約：

【課題】基礎吸収端が250〜260nmの範囲にあり、厚さ0.4mmにおける310〜620nmの波長領域(紫外光領域及び可視光領域)での内部透過率が80%以上の光透過率に優れたバルクの酸化ガリウム単結晶の製造方法を提供する。【解決手段】FZ法(浮遊帯域溶融法)により作製した酸化ガリウム単結晶を原料棒に用いて更にFZ法により酸素含有雰囲気下で酸化ガリウム単結晶を得るようにして、多段階的にFZ法を適用する酸化ガリウム単結晶の製造方法であって、成長速度を2.5〜20mm/hの範囲で結晶成長させる。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

FZ法により作製した酸化ガリウム単結晶を原料棒に用いて、更にFZ法により酸素含有雰囲気下で酸化ガリウム単結晶を得ることを特徴とする酸化ガリウム単結晶の製造方法。

IPC (4件)：

C30B 29/16 ,  C01G 15/00 ,  C30B 13/00 ,  H01L 33/00

FI (4件)：

C30B29/16 ,  C01G15/00 H ,  C30B13/00 ,  H01L33/00 A

Fターム (13件)：

4G077AA02 ,  4G077AB04 ,  4G077BB10 ,  4G077CE03 ,  4G077EA07 ,  4G077EC04 ,  4G077EH09 ,  4G077HA01 ,  4G077HA02 ,  4G077HA12 ,  4G077NA01 ,  5F041CA34 ,  5F041CA67

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 紫外透明導電膜とその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-182643   出願人：科学技術振興事業団, 太田裕道, 折田政寛
• 発光素子およびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-137912   出願人：株式会社光波