特許
J-GLOBAL ID：200903045599209980

走査型プローブ顕微鏡

発明者：
宮谷 竜也

宮谷 竜也 について

, 
中島 邦雄

中島 邦雄 について


出願人/特許権者：
セイコーインスツルメンツ株式会社

セイコーインスツルメンツ株式会社 について


代理人 (1件)： 林 敬之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-312590
公開番号（公開出願番号）：特開2000-136993
出願日： 1998年11月02日
公開日（公表日）： 2000年05月16日
要約：
【要約】【課題】 走査型プローブ顕微鏡のXYZアクチュエータにチューブ型の圧電体が用いられるが、首振り運動によりXY方向へ走査するため、走査範囲が大きくなると、首振り運動による観察像の湾曲の度合いは大きくなり、コンピュータによるデータ処理で補正しなければならない。また、チューブを長くすると、XY方向の可動範囲を広げることができるが、共振周波数が低くなり、走査スピードが低下する。そこで、走査範囲を拡大しても観察像が湾曲せず、かつ走査スピードの低下しない走査型プローブ顕微鏡を提供する。【解決手段】 観察像の湾曲を防止するため、XYZ各方向に独立したアクチュエータで走査を行い、Z方向に最も共振周波数の高いアクチュエータ8を、Y方向に共振周波数が低く可動範囲の広いアクチュエータ2を用いることによって走査スピードを低下させずに走査範囲を拡大することを可能とした。
請求項（抜粋）：
微小なプローブが試料表面上を走査することによって、試料表面の微小な構造を観察する走査型プローブ顕微鏡において、前記試料表面に対して平行に、前記プローブと前記試料を相対的に移動させて走査するための、X方向へ駆動するX駆動手段およびY方向へ駆動するY駆動手段と、前記試料表面の凹凸に応じて、前記プロ-ブと前記試料表面を相対的に近づけたり遠ざけたりするための、Z方向へ駆動するZ駆動手段と、がそれぞれ独立した駆動手段からなることを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。
IPC (2件)：
G01N 13/10 ,  G01B 21/30
FI (2件)：
G01N 37/00 U ,  G01B 21/30 Z
Fターム (8件)：
2F069AA60 ,  2F069DD20 ,  2F069GG01 ,  2F069GG62 ,  2F069HH04 ,  2F069JJ08 ,  2F069MM32 ,  2F069MM38
引用特許：
審査官引用 (4件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM