特許
J-GLOBAL ID：200903086796718649
走査型プローブ顕微鏡のプローブ走査機構
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-244131
公開番号（公開出願番号）：特開平9-089910
出願日： 1995年09月22日
公開日（公表日）： 1997年04月04日
要約：
【要約】【課題】プローブを高速で走査できるプローブ走査機構を提供する。【解決手段】カンチレバー12はホルダーにより移動体16に取り付けられる。移動体16の一角には三枚のサファイア板18が設けられており、サファイア板18の平面は互いに直交している。三本のピエゾアクチュエーター30X、30Y、30Zは、互いに直交する方向に変位可能で、一端がそれぞれ固定台32X、32Y、32Zに固定されている。ピエゾアクチュエーター30X、30Y、30Zの他端にはサファイア板22が取り付けられている。サファイア板22は、ルビー球20を間に挟んで、移動体16に設けられたサファイア板18に対向している。サファイア板18と22の中央部には引き合う極性の磁石が設けられ、両者は十分に狭い間隔、例えば数μmの間隔を置いて向き合っている。
請求項（抜粋）：
探針を有するレバー部と、前記レバー部を保持するレバー保持部を備えた移動部材と、前記移動部材を第一の軸方向に移動させる第一の駆動部と、第一の軸に直交する第二の軸方向に前記移動部材を移動させる第二の駆動部と、第一および第二の軸方向に移動可能に前記移動部材を保持する移動部材保持部とを有していることを特徴とする走査型プローブ顕微鏡のプローブ走査機構。
IPC (3件)：
G01N 37/00
, G01B 21/30
, H01J 37/28
G01N 37/00 A
, G01B 21/30 Z
, H01J 37/28 Z
