特許
J-GLOBAL ID:200903045627428030
III族窒化物系化合物半導体レーザ素子
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
藤谷 修
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-211765
公開番号(公開出願番号):特開2004-055854
出願日: 2002年07月19日
公開日(公表日): 2004年02月19日
要約:
【課題】容易に製造可能な面発光の3族窒化物系化合物半導体レーザー素子を提供すること。【解決手段】n型層であって、3族窒化物系化合物半導体の多重層から成り、反射膜を形成する多重n層102、p型層であって、3族窒化物系化合物半導体の多重層から成り、反射膜を形成する多重p層106、反射率の高い金属から成るp電極107により、多重量子井戸構造を有する活性層104の発光がレーザー発振する。レーザー光は基板裏面側に取り出す。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
基板上に形成されたIII族窒化物系化合物半導体レーザ素子であって、
p電極に最も近いIII族窒化物系化合物半導体層を多重層として多重層反射層とし、
p電極を反射率の高い反射膜とし、
基板側にレーザ光を取り出すことを特徴とするIII族窒化物系化合物半導体レーザ素子。
IPC (2件):
FI (2件):
H01S5/183
, H01S5/323 610
Fターム (11件):
5F073AA55
, 5F073AA61
, 5F073AA74
, 5F073AA89
, 5F073AB17
, 5F073CA07
, 5F073CB22
, 5F073DA21
, 5F073DA30
, 5F073DA31
, 5F073EA23
引用特許:
審査官引用 (4件)
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半導体レーザ装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平6-082869
出願人:株式会社日立製作所
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特開平3-236295
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特開平4-263482
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レーザ素子
公報種別:公開公報
出願番号:特願2000-079426
出願人:日亜化学工業株式会社
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