特許

J-GLOBAL ID：200903045693613352

基板保持装置

発明者： 赤江 裕光 ,  本村 洋一
出願人/特許権者： 株式会社安川電機
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-344402
公開番号（公開出願番号）：特開2005-109404
出願日： 2003年10月02日
公開日（公表日）： 2005年04月21日
要約：

【課題】基板の撓みを非接触で補正することによって、基板に傷を付けたり、パーティクルを発生させたりすることのない基板保持装置を提供する。【解決手段】基板4の周縁部を保持する保持部材3,5と、基板4の中央部の下側に、基板4の下面に空気を吹き付けて、基板4の中央部を持ち上げる空気吐出部8を備える。また、空気吐出部8を上下に昇降して、高さ方向の位置を変更できるようにする。また、基板4の撓みを検出するセンサを備え、撓みの大きさに応じて、空気吐出部8の高さ方向の位置および吐出空気の圧力および流量を調整するものである。また、基板保持装置1の傾きを検出するセンサを備え、傾きの大きさに応じて、空気吐出部8の高さ方向の位置および吐出空気の圧力および流量を調整する。また、空気吐出部8の流路形状を絞り効果を有する形状とする。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

基板の周縁部を保持する保持部材と、前記基板の中央部の下側に、前記基板の下面に空気を吹き付けて、前記基板の中央部を持ち上げる空気吐出部を備えたことを特徴とする基板保持装置。

IPC (1件)：

H01L21/68

FI (1件)：

H01L21/68 N

Fターム (18件)：

5F031CA02 ,  5F031HA23 ,  5F031HA24 ,  5F031HA26 ,  5F031HA27 ,  5F031HA28 ,  5F031HA29 ,  5F031JA08 ,  5F031JA30 ,  5F031JA45 ,  5F031JA51 ,  5F031MA33 ,  5F031PA13 ,  5F031PA14 ,  5F031PA18 ,  5F031PA20 ,  5F031PA26 ,  5F031PA30

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 実開平6-13136号公報
  
• 基板保持装置及び方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-044232   出願人：株式会社ニコン

審査官引用 (2件)

• 基板搭載装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-080695   出願人：日立電子エンジニアリング株式会社
• 四隅が支持されて持ち上げられた基板のたわみ軽減方法および枚葉式基板処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-177622   出願人：シャープ株式会社