特許
J-GLOBAL ID:200903045700189898

光照射装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 西村 竜平
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-275025
公開番号(公開出願番号):特開2005-038728
出願日: 2003年07月15日
公開日(公表日): 2005年02月10日
要約:
【課題】ワークに生じた放射状に延びる欠陥を検出できる簡単な構成の光照射装置を提供する。【解決手段】中央に円孔2を貫通させた環状をなすケーシング3と、光軸CTが前記円孔2の中心軸線に向かうように前記ケーシング3に並べ設けた複数の光射出要素4とを備え、前記円孔2の下方に設置したワークCPの表面を前記光射出要素4から射出されるローアングル光によって照明するものにおいて、前記光射出要素4から射出されるローアングル光を、前記円孔2における周方向の成分がより多く含まれるものに変更する光変更部6を設けるようにした。【選択図】図5
請求項(抜粋):
中央に円孔を貫通させた環状をなすケーシングと、光軸が前記円孔の中心軸線に向かうように前記ケーシングに並べ設けた複数の光射出要素とを備え、前記円孔の下方に設置したワークの表面を前記光射出要素から射出されるローアングル光によって照明するものであって、 前記光射出要素から射出されるローアングル光を、前記円孔における周方向の成分がより多く含まれるものに変更する光変更部を備えていることを特徴とする光照射装置。
IPC (7件):
F21S8/04 ,  F21V5/04 ,  F21V7/10 ,  F21V8/00 ,  F21V19/00 ,  G02B21/06 ,  H01L33/00
FI (8件):
F21S1/02 G ,  F21V5/04 Z ,  F21V7/10 ,  F21V8/00 B ,  F21V19/00 P ,  F21V19/00 330Z ,  G02B21/06 ,  H01L33/00 N
Fターム (20件):
2H052AC07 ,  2H052AC17 ,  2H052AC27 ,  2H052AC31 ,  2H052AC33 ,  3K013BA01 ,  3K013CA05 ,  3K013CA16 ,  3K013DA00 ,  3K013DA09 ,  5F041AA05 ,  5F041AA06 ,  5F041DA13 ,  5F041DA19 ,  5F041DA36 ,  5F041DA82 ,  5F041DB08 ,  5F041DC83 ,  5F041EE23 ,  5F041FF11
引用特許:
出願人引用 (5件)
全件表示

前のページに戻る