特許
J-GLOBAL ID：200903045727636896
表面改質方法及び表面改質装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
村上 智司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-363807
公開番号（公開出願番号）：特開2005-129733
出願日： 2003年10月23日
公開日（公表日）： 2005年05月19日
要約：
【課題】コストを低く抑えることができる表面改質装置などを提供する。【解決手段】表面改質装置1は、処理対象物Kを支持して所定の方向に搬送する搬送ローラ13と、紫外線を照射する水銀ランプ25及びこれを収納する収納体21からなり、収納体21は、下面に開口し、内部に水銀ランプ25が収納される半円柱状の収納室22と、下部に配設されて収納室22の開口部を閉塞し、水銀ランプ25から照射された紫外線を透過する透明なガラス板24とを備え、ガラス板24が処理対象物K表面から所定の間隔を隔てて対峙するように配設された紫外線照射装置20と、ガラス板24の下面に水銀ランプ25からの紫外線を透過可能に薄膜に成膜された光触媒40と、処理対象物K周辺の雰囲気ガスよりも高い湿度を有するガスを生成して、光触媒40と処理対象物Kとの間に供給するガス供給装置50とから構成される。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
処理対象物の表面を浄化して改質する方法であって、
光触媒を、前記処理対象物から所定間隔を隔てて対峙する位置に配置した後、
前記処理対象物周辺の雰囲気ガスの湿度よりも高い湿度を有するガスを、前記光触媒と処理対象物との間に供給するとともに、前記光触媒に向けて紫外線を照射するようにしたことを特徴とする表面改質方法。
IPC (3件)：
H01L21/304
, B01J35/02
, G02F1/1333
H01L21/304 645D
, H01L21/304 645Z
, B01J35/02 J
, G02F1/1333 500
2H090JA06
, 2H090JB02
, 2H090JC06
, 2H090JC07
, 2H090JC09
, 4G059AA08
, 4G059AC22
, 4G069AA02
, 4G069BA04A
, 4G069BA04B
, 4G069BA14B
, 4G069BA17
, 4G069BA48A
, 4G069CD10
, 4G069EA07
, 4G069ED02
