特許

J-GLOBAL ID：200903045730399013

インプリント用モールド、該モールドによる構造体の製造方法、部材の製造方法

発明者： 中村 高士 ,  田 透
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 長尾 達也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-018449
公開番号（公開出願番号）：特開2007-230229
出願日： 2007年01月29日
公開日（公表日）： 2007年09月13日
要約：

【課題】基板表面に、モールドよりも大面積のパターンを、少ない繋ぎ目で、あるいは繋ぎ目を無くして作製することが可能となるインプリント用モールドを提供する。【解決手段】複数の第1の凹部により構成される第1のパターン領域と、複数の第2の凹部により構成され、アライメントマークとして利用するための第2のパターン領域と、を有するインプリント用モールドであって、 前記第1及び第2のパターン領域の最表面の高さは互いに等しく、 前記第1及び第2の凹部は、互いに深さが異なり、且つ 前記第1及び第2のパターン領域の周期は互いに等しい構成とする。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

複数の第1の凹部により構成される第1のパターン領域と、 複数の第2の凹部により構成され、アライメントマークとして利用するための第2のパターン領域と、を有するインプリント用モールドであって、 前記第1及び第2のパターン領域の最表面の高さは互いに等しく、 前記第1及び第2の凹部は、互いに深さが異なり、且つ 前記第1及び第2のパターン領域の周期は互いに等しいことを特徴とするインプリント用モールド。

IPC (4件)：

B29C 59/02 ,  H01L 21/027 ,  B81C 5/00 ,  B29C 33/42

FI (5件)：

B29C59/02 B ,  H01L21/30 502D ,  H01L21/30 522Z ,  B81C5/00 ,  B29C33/42

Fターム (24件)：

4F202AG05 ,  4F202AJ06 ,  4F202AR12 ,  4F202CA19 ,  4F202CB01 ,  4F202CD23 ,  4F209AA43 ,  4F209AA44 ,  4F209AC05 ,  4F209AD08 ,  4F209AF01 ,  4F209AG05 ,  4F209AJ08 ,  4F209PA02 ,  4F209PB01 ,  4F209PC01 ,  4F209PC05 ,  4F209PC06 ,  4F209PC07 ,  4F209PC08 ,  4F209PN06 ,  4F209PQ11 ,  5F046AA28 ,  5F046EA22

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 位置合わせ方法および加工装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-261911   出願人：株式会社東芝