特許

J-GLOBAL ID：200903045752426332

質量スペクトロメータリーク検出器のイオンソースの汚染を削減するための手段

発明者： シドニー・イー・バットリル・ジュニア
出願人/特許権者： バリアン・アソシエイツ・インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 竹内 澄夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-346245
公開番号（公開出願番号）：特開平8-236065
出願日： 1995年12月13日
公開日（公表日）： 1996年09月13日
要約：

【要約】【課題】質量スペクトロメータに付加的な加熱を与えることなく質量スペクトロメータのリーク検出器のイオンソース領域の温度を上昇させ,当該リーク検出器イオンソースの汚染を減少させる。【解決手段】質量スペクトロメータリーク検出器において,イオンソース組立体は,真空エンベロープの空洞内に配置され,空洞内に配置するための手段を有する薄く取り外し可能なライナにより包囲されている。ライナ配置手段は,当該ライナと真空エンベロープとの熱接触を制限し,当該ライナとイオンソースとの熱放射関係により,イオンソース領域の温度は上昇し,イオンソースの汚染は減少する。

請求項（抜粋）：

質量スペクトロメータのリーク検出器であって,空洞を含む真空エンベロープと,イオンビーム生成用に前記空洞内に配置されたイオンソースと,前記イオンビーム用の出口スリットを有する底面プレートと,から成り,前記イオンソースを実質的に包囲し,前記真空エンベロープの前記空洞内にしっかりと保持されたライナを含む,ことを特徴とする装置。

IPC (6件)：

H01J 49/10 ,  G01M 3/00 ,  G01M 3/02 ,  G01M 3/20 ,  H01J 49/26 ,  G01N 27/62

FI (6件)：

H01J 49/10 ,  G01M 3/00 J ,  G01M 3/02 A ,  G01M 3/20 B ,  H01J 49/26 ,  G01N 27/62 B

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭56-045562
  
• イオン源
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-242705   出願人：日新電機株式会社
• 特開昭56-045562