特許

J-GLOBAL ID：200903045798463321

電界検出装置

発明者： 植田 敏嗣 ,  杉山 直 ,  林 尚典
出願人/特許権者： 横河電機株式会社
代理人 (1件)： 渡辺 正康
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-249419
公開番号（公開出願番号）：特開平10-090371
出願日： 1996年09月20日
公開日（公表日）： 1998年04月10日
要約：

【要約】【課題】サブミクロンの空間分解能が得られる電界検出装置を実現する。【解決手段】電界により物理的状態が変化する電気光学効果を有するプローブを集積回路基板に近接させ、前記集積回路により生じる電界により変化する物理的状態をレーザ光を利用し光学的に検出する手段を備え、非接触で前記電界を検出することのできる電界検出装置において、前記プローブの下面の一部分に、導電体から形成された針状部材を取り付け、この針状部材の上面内に前記レーザ光を集光し、かつその面より反射させるように構成する。

請求項（抜粋）：

電界により物理的状態が変化する電気光学効果を有するプローブを集積回路基板に近接させ、前記集積回路により生じる電界により変化する物理的状態をレーザ光を利用し光学的に検出する手段を備え、非接触で前記電界を検出することのできる電界検出装置において、前記プローブの下面の一部分に、導電体から形成された針状部材を取り付け、この針状部材の上面内に前記レーザ光を集光し、かつその面より反射させるように構成したことを特徴とする電界検出装置。

IPC (2件)：

G01R 31/302 ,  H01L 21/66

FI (2件)：

G01R 31/28 L ,  H01L 21/66 C

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 電気信号測定装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-198360   出願人：日本電信電話株式会社
• 特開平3-018780
  

審査官引用 (1件)

• 電気信号測定装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-198360   出願人：日本電信電話株式会社