磁気ディスクの検査方法及び装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：長谷川曉司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-020297
公開番号（公開出願番号）：特開平10-221272
出願日： 1997年02月03日
公開日（公表日）： 1998年08月21日
要約：

【要約】【課題】欠陥の見落しがなく、また、過検出もない精度の高い欠陥検査を高速で行なう方法及びその装置。【解決手段】光学的な欠陥検査によって磁気ディスク表面の欠陥を検出し、検出された欠陥部近傍の磁気ディスク面を磁気的な欠陥検査によって精密に検査することを特徴とする磁気ディスクの検査方法。

請求項（抜粋）：

光学的な欠陥検査によって磁気ディスク表面の欠陥を検出し、検出された欠陥部近傍の磁気ディスク面を磁気的な欠陥検査によって精密に検査することを特徴とする磁気ディスクの検査方法。

IPC (2件)：

G01N 21/88 , G01B 21/30

FI (2件)：

G01N 21/88 G , G01B 21/30 Z

引用特許：

審査官引用 (10件)

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