特許
J-GLOBAL ID：200903045849757317
負イオン中性粒子入射装置の制御装置及び制御方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
社本 一夫 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-365485
公開番号（公開出願番号）：特開2002-170700
出願日： 2000年11月30日
公開日（公表日）： 2002年06月14日
要約：
【要約】【課題】 負イオンNBI装置の負イオン源において、負イオンを生成させるための負イオン源へのフィラメントの加熱電力を制御することにより、負イオン源からの負イオンビーム電流の時間的変化と電流値の減少を防止することに関する。【解決手段】 負イオンNBI装置の運転制御用計算機システムとフィラメント電源の制御装置とを組合せて機能させることにより、フィラメントの予熱時及びアーク放電安定化のための初期放電(プリアーク)時には主に時間的に一定な電力によりフィラメント加熱を行い、負イオンビームの引出し/加速の時には予め計算機システムでプログラムした内容のとおり、フィラメント加熱電力を時間的に数段階減少させる制御装置である。これにより、引出し/加速される負イオンビーム電流が時間的に大きく変化することを防止すると共に、この負イオンビーム電流値が小さくなることをも防止することができる。
請求項（抜粋）：
負イオン中性粒子入射装置の負イオン源において、負イオン生成のために、フィラメントと負イオン源アークチャンバとの間のアーク放電を開始、維持するために必要なフィラメント加熱用電源の電力を、プリセットしたパターンに従って制御することからなる、負イオン中性粒子入射装置の制御装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (7件)：
2G085AA20
, 2G085BA19
, 2G085BA20
, 2G085CA05
, 2G085CA11
, 2G085DA08
, 2G085EA09
