表面生成形負イオン源

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：曾我道照 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-144984
公開番号（公開出願番号）：特開平8-007816
出願日： 1994年06月27日
公開日（公表日）： 1996年01月12日
要約：

【要約】【目的】本発明は、セシウムを効果的に使用し、運転効率を向上させるとともに、ビームの出力を安定させることを目的とするものである。【構成】イオン源本体1内に導入されるセシウムの蒸気を加熱するヒータ22、及びセシウムの蒸気を通すタングステン膜24を、セシウム導入管15の先端部に設け、表面電離法によりセシウムを正のイオンに荷電変換してイオン源本体1内に導入し、負の電圧が印加されたコンバータヘッド9に優先的に誘導するようにした。

請求項（抜粋）：

イオン源本体と、このイオン源本体に接続されるとともに、内部を確認するための窓を有しており、セシウムの蒸気を上記イオン源本体に供給するセシウム炉とを備えていることを特徴とする表面生成形負イオン源。

IPC (3件)：

H01J 37/08 , G21B 1/00 , H01J 27/14

引用特許：

審査官引用 (1件)

イオン源
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-308824 出願人：三菱重工業株式会社

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