マイクロメカニカルデバイス用PFPEコーティング

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：浅村皓 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-145104
公開番号（公開出願番号）：特開平7-318819
出願日： 1995年05月09日
公開日（公表日）： 1995年12月08日
要約：

【要約】【目的】マイクロメカニカルデバイスの相対的に可動な要素間の付着や接着問題を解決する。【構成】本マイクロメカニカルデバイス(10)は相対的に可動な要素(11、17)を含み、それらは互いに接触または結合し、後に固着または接着してしまう。前記要素(11、17)の接触または結合する部分に対して過フルオロポリエーテル(PFPE)膜(31)が供給され、そのような付着や接着を解消または改善する。

請求項（抜粋）：

第2の要素に対して選択的に可動な第1の要素を有し、前記第1の要素の1つの位置において前記要素の部分が接触するようになった型の進歩したマイクロメカニカルデバイスであって、要素の接触する部分のうち少なくとも1つの部分上に過フルオロポリエーテル(PFPE:perfluoropolyether)膜を含むことを特徴とするマイクロメカニカルデバイス。

IPC (2件)：

G02B 26/08 , C09D171/02 PLQ

引用特許：

審査官引用 (8件)

特開平4-230723
特開平3-174112
シリコン空間光変調器
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-198602 出願人：ノースロップ・コーポレーション

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