光学構成要素の検査装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：中村稔 (外6名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-505887
公開番号（公開出願番号）：特表平9-504095
出願日： 1994年07月28日
公開日（公表日）： 1997年04月22日
要約：

【要約】光学構成要素の特徴の高コントラスト像を形成する装置が提供される。本発明の装置においては、光は、光学構成要素を通って、イメージセンサー装置の検出器に到達する前に収束される、さらに、試験中、光学構成要素を適当な位置に保持し配置する新規なキユベットが提供される。キユベットは、光学構成要素を適当な位置に保持するのに重力を利用するため凹状湾曲内面を備えた底部分を有している。

請求項（抜粋）：

A)光学構成要素の像を感知する、検出器を備えたイメージセンサー装置; 及び B)光学構成要素を通る光を、イメージセンサー装置の検出器に達する前に収束する収束装置を有していることを特徴とする、光学構成要素の特徴の高コントラスト像を形成する装置。

引用特許：

出願人引用 (5件)

特開平4-363648
面状態検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-225988 出願人：キヤノン株式会社
特開平4-321186

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審査官引用 (6件)

特開平4-363648
面状態検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-225988 出願人：キヤノン株式会社
特開平4-321186

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