特許

J-GLOBAL ID：200903072204673299

面状態検査装置

発明者： 河野 道生
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 丸島 儀一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-225988
公開番号（公開出願番号）：特開平5-066556
出願日： 1991年09月05日
公開日（公表日）： 1993年03月19日
要約：

【要約】【目的】 レチクル109のパターン面109の検査時にノイズ光としてのブランク面109b上の異物からの散乱光をできる限り除去する。【構成】 受光系に受光される散乱光のうち、レチクル109に入射する光束側(l2側)の部分を遮光すべく、開口絞り116のL側の部分S1に遮光部を設ける。これによりパターン面109aからの散乱光の受光光量を落とすことなく、ブランク面109bからの散乱光を有効に除去できる。

請求項（抜粋）：

光透過性を有する被検物体の被検面の面状態を検査する装置で、該被検面に対し第一の方向より光を照射するための照明系と、被検面検査を行うべく前記照明系によって照明された部所からの光を前記第一とは異なる第二の方向より受光する検出光学系とを有し、該検出光学系は該検出光学系の光軸に対し前記第一の方向側又は該第一の方向側に対応する側を反対側よりも光を通過しにくくした開口を設けた開口絞りを有することを特徴とする面状態検査装置。

IPC (5件)：

G03F 1/08 ,  G01N 21/88 ,  G06F 15/62 405 ,  G06F 15/64 320 ,  H01L 21/027