特許

J-GLOBAL ID：200903046000716419

ガス摩擦ポンプ

発明者： アルミーン・コンラート ,  ペーター・ファレーンバハ
出願人/特許権者： プファイファー・ヴァキューム・ゲーエムベーハー
代理人 (1件)： 社本 一夫 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-117878
公開番号（公開出願番号）：特開2002-005079
出願日： 2001年04月17日
公開日（公表日）： 2002年01月09日
要約：

【要約】【課題】 吸込フランジ断面積の流れ抵抗にほぼ完全に打ち勝ち、したがって上部ロータ・ディスクの直径により与えられる排気速度を最大限に利用する。【解決手段】 本発明は、その吸込開口(2)がロータ構造部品およびステータ構造部分(12、14)の外径より小さい内径を有するガス摩擦ポンプに関するものである。吸込開口側に変形ロータ構造部分(16)が設けられている。変形ロータ構造部分(16)の半径方向広がりは、吸込開口からその他のロータ構造部分およびステータ構造部分の方向に増大する。この増大は、階段状に、または連続的に円錐構造形状に、またはドーム形構造形状に行われる。変形ロータ構造部分に向かい合って、ステータ構造部分にポンプ作用構造が設けられている。

請求項（抜粋）：

容器に接続するための吸込開口(2)およびガス流出開口(3)を有するハウジング(1)からなり、この場合、ハウジング内に、ガスを供給し且つ圧縮比を形成するためのポンプ作用をなすロータ構造部分(12)およびステータ構造部分(14)が存在し、および吸込開口(2)の内径がポンプ作用をなすロータ構造部分およびステータ構造部分の直径より小さいガス摩擦ポンプにおいて、吸込開口(2)側にガス供給構造を有する変形ロータ構造部分(16、17、18、19a、19b)が存在し、前記変形ロータ構造部分(16、17、18、19a、19b)の半径方向広がりが、吸込開口からその他のロータ構造部分およびステータ構造部分の方向へ増大することを特徴とするガス摩擦ポンプ。

FI (2件)：

F04D 19/04 D ,  F04D 19/04 E

Fターム (4件)：

3H031DA02 ,  3H031EA06 ,  3H031FA01 ,  3H031FA31

引用特許：

出願人引用 (5件)

• 真空ポンプ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-091302   出願人：セイコー精機株式会社
• 真空ポンプ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-149097   出願人：セイコー精機株式会社
• 特開昭58-155297
  
• 特開昭62-168994
  
• 特開平2-153294
  

審査官引用 (5件)

• 特開平2-153294
  
• 真空ポンプ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-149097   出願人：セイコー精機株式会社
• 真空ポンプ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-091302   出願人：セイコー精機株式会社
• 特開昭58-155297
  
• 特開昭62-168994