切削装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：佐々木功 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-210719
公開番号（公開出願番号）：特開2000-049120
出願日： 1998年07月27日
公開日（公表日）： 2000年02月18日
要約：

【要約】【課題】チャックテーブルに保持された被加工物に回転ブレードによって切削加工を施す切削装置において回転ブレードのドレッシングを行う場合に、煩雑な作業を不要として切削の生産性を低下させないようにすると共に、切削の途中でドレッシングを行ったとしてもアライメントに狂いが生じないようにする。【解決手段】チャックテーブルに隣接すると共に、表面がそのチャックテーブルの表面と略同一平面上に位置するようにドレッサーボードを配設することにより、被加工物及びドレッサーボードの着脱を不要とし、半導体ウェーハの着脱をなくすことによりアライメントのやり直しを行わないようにする。

請求項（抜粋）：

被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物に切削加工を施す回転ブレードを含む切削手段とから少なくとも構成される切削装置であって、チャックテーブルに隣接すると共に、表面が該チャックテーブルの表面と略同一平面上に位置するようにドレッサーボードが配設される切削装置。

引用特許：

審査官引用 (3件)

ダイシング装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-343014 出願人：ソニー株式会社
特開昭56-164553
特開昭56-164553

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