特許

J-GLOBAL ID：200903046028953467

研磨装置

発明者： 中平 法生
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 大西 正悟
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-137706
公開番号（公開出願番号）：特開2008-290182
出願日： 2007年05月24日
公開日（公表日）： 2008年12月04日
要約：

【課題】研磨工程において実際に使用されている状態における研磨パッドの表面形状及び粘弾性特性を示す値の両者が測定可能な測定手段を有した研磨装置を提供する。【解決手段】ウェハを研磨パッド27の研磨面27sに当接した状態で両者を相対移動させてウェハを研磨するCMP装置であって、研磨パッド27の研磨面27sと基準表面62sとの間の距離を測定するメインセンサ65及びサブセンサ66を有し、研磨パッド27の研磨面27sの表面形状を測定するパッド形状測定装置と、研磨パッド27の研磨面27sに押圧して圧力負荷をかける圧力負荷装置とを備え、圧力負荷装置の圧力負荷によって研磨パッド27の研磨面27sに生じた変形量をメインセンサ65及びサブセンサ66を用いて測定し、測定された変形量が基準範囲内にあるか否かを判断するように構成される。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

研磨対象物を研磨パッドの研磨面に当接した状態で両者を相対移動させて前記研磨対象物を研磨する研磨装置であって、 前記研磨パッドの研磨面と基準面との間の距離を測定する距離測定器を有し、前記研磨パッドの研磨面の表面形状を測定する表面形状測定装置と、 前記研磨パッドの研磨面に押圧して圧力負荷をかける圧力負荷装置とを備え、 前記圧力負荷装置の圧力負荷によって前記研磨パッドの研磨面に生じた変形量を前記距離測定器を用いて測定し、測定された前記変形量が基準範囲内にあるか否かを判断することを特徴とする研磨装置。

IPC (4件)：

B24B 37/00 ,  B24B 49/12 ,  H01L 21/304 ,  B24B 49/10

FI (4件)：

B24B37/00 C ,  B24B49/12 ,  H01L21/304 622F ,  B24B49/10

Fターム (23件)：

2F065AA06 ,  2F065AA52 ,  2F065AA65 ,  2F065BB01 ,  2F065CC00 ,  2F065UU04 ,  3C034AA07 ,  3C034BB92 ,  3C034BB93 ,  3C034CA22 ,  3C034DD05 ,  3C034DD10 ,  3C058AA19 ,  3C058AC02 ,  3C058BA02 ,  3C058BA09 ,  3C058BA11 ,  3C058BB03 ,  3C058BB09 ,  3C058BC02 ,  3C058CA05 ,  3C058CB01 ,  3C058CB03

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 半導体ウェーハ鏡面研磨用研磨布の平坦度・端ダレ特性評価装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-095994   出願人：新日本製鐵株式会社
• 国際公開第05/072910号パンフレット