特許
J-GLOBAL ID：200903046041148344

高調波レーザ光の発生方法およびレーザ装置

発明者：
出来 恭一

出来 恭一 について


出願人/特許権者：
株式会社ウシオ総合技術研究所

株式会社ウシオ総合技術研究所 について


代理人 (1件)： 長澤 俊一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-320734
公開番号（公開出願番号）：特開2001-144356
出願日： 1999年11月11日
公開日（公表日）： 2001年05月25日
要約：
【要約】【課題】 基本波レーザ光の繰返し周波数を変えたとき、出力される高調波レーザ光のパワーが低下したり出力安定度が悪化するのを防止すること。【解決手段】 基本波レーザ装置1から出力される基本波レーザ光はアイソレータ2、増幅器3、増幅器4、第2高調波発生用光学系5を介して、2倍波発生用の非線形光学結晶(SHG結晶)6に入射し2倍波レーザ光に波長変換される。SHG結晶6から出射する基本波レーザ光と上記2倍波レーザ光はさらに和周波発生用光学系7を介して和周波発生用の非線形光学結晶8に入射し、非線形光学結晶8はその和周波レーザ光を発生する。制御器10は、基本波レーザ光の繰り返し周波数の増大に応じて増幅器3,4の電流値を増大させる。これにより、SHG結晶6に入力する基本波レーザ光のピークパワーを増大させることができ、出力される高調波レーザ光のパワーの低下を抑え、また出力安定度の悪化を防止することができる。
請求項（抜粋）：
パルスレーザを基本波レーザ装置とし、該基本波レーザ装置が発生する基本波レーザ光を非線形光学結晶に入射して波長変換することにより高調波レーザ光を発生させる高調波レーザ光の発生方法であって、基本レーザ光の繰返し周波数の増大に応じて、上記非線形光学結晶に入力するレーザ光のピークパワーを増加させることを特徴とする高調波レーザ光の発生方法。
IPC (2件)：
H01S 3/108 ,  G02F 1/37
FI (2件)：
H01S 3/108 ,  G02F 1/37
Fターム (12件)：
2K002AA04 ,  2K002AB12 ,  2K002HA20 ,  2K002HA21 ,  5F072AB15 ,  5F072HH07 ,  5F072PP07 ,  5F072QQ02 ,  5F072RR01 ,  5F072RR05 ,  5F072SS06 ,  5F072YY06
引用特許：
審査官引用 (3件)

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