特許
J-GLOBAL ID:200903046143532173

共焦点走査型顕微鏡、その位置合わせ方法、プログラム及び記憶媒体

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 大菅 義之
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-241317
公開番号(公開出願番号):特開2003-057552
出願日: 2001年08月08日
公開日(公表日): 2003年02月26日
要約:
【要約】【課題】 観察対象部で焦点の合った観察画像を容易に取得可能で、また観察画像を用いた計測での再現性を向上させた共焦点走査型顕微鏡を提供することを課題とする。【解決手段】 低倍率の対物レンズによってオートフォーカスを実行して合焦点位置を検出する。観察試料の観察対象部を検索し、その検索結果に基いて、観察対象部を移動する。次に高倍率の対物レンズによってオートフォーカスを実行して合焦点位置を検出し、観察試料の観察対象部を検索する。そして検索結果に基いて、観察対象部を移動した後画像を取り込む。
請求項(抜粋):
オートフォーカス機能を備えた共焦点走査型顕微鏡において、第1の対物レンズによってオートフォーカスを実行して合焦点位置を検出する第1の合焦点検出手段と、前記第1の合焦点検出手段による合焦点位置の検出後、観察試料の予め定められた位置を検索する第1の観察対象部検索手段と、前記第1の観察対象部検索手段による検索結果に基いて前記観察試料と前記第1の対物レンズとの相対位置を移動する第1の移動手段と、を備えたことを特徴とする共焦点走査型顕微鏡。
IPC (3件):
G02B 21/00 ,  G02B 7/28 ,  G02B 7/36
FI (4件):
G02B 21/00 ,  G02B 7/11 N ,  G02B 7/11 J ,  G02B 7/11 D
Fターム (12件):
2H051AA11 ,  2H051BA41 ,  2H051DD17 ,  2H051EB13 ,  2H051FA48 ,  2H052AA07 ,  2H052AA08 ,  2H052AC15 ,  2H052AC27 ,  2H052AC34 ,  2H052AD09 ,  2H052AD16
引用特許:
審査官引用 (4件)
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