欠陥検出用顕微鏡装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-016218
公開番号（公開出願番号）：特開平8-210987
出願日： 1995年02月02日
公開日（公表日）： 1996年08月20日
要約：

【要約】【目的】欠陥検出装置により見付けられた欠陥を短時間に拡大観察、判断を行うことにある。【構成】レボルバ2に対物レンズ3がセットされた顕微鏡本体1の光学軸に対して直交する方向に電動ステージ4を移動可能に設け、この電動ステージ4を光学軸方向に対物レンズ3と共にオートフォーカス駆動部5により移動してピントを合せ、顕微鏡本体1の光学系を介して得られる被観察対象物11の光像をTVカメラ9により撮像してTVモニタ9に表示するようにした欠陥検出用顕微鏡装置において、TVカメラ9から得られる画像情報を用いて周囲と異なる欠陥を検出し、この欠陥を観察視野内の中心に移動させ、その欠陥の大きさ情報からこの欠陥を観察するに適切な大きさに拡大する機能及びTVカメラ9より取込んだ画像情報を蓄積する画像蓄積機能を有する制御用コンピュータ14とを備える。

請求項（抜粋）：

倍率の異なる複数の対物レンズを有するレボルバを備えた顕微鏡本体と、この顕微鏡本体の光学軸に対して直交する方向に移動可能に設けられた電動ステージと、この電動ステージを光学軸方向に前記対物レンズと共に相対的に移動するオートフォーカス手段と、前記レボルバ、電動ステージ及びオートフォーカス手段を駆動する駆動手段と、前記顕微鏡本体の光学系を介して得られる被観察対象物の光像を撮像する撮像手段とを備えた欠陥検出用顕微鏡装置において、前記撮像手段から得られる画像情報を用いて周囲と異なる欠陥を検出する欠陥検出手段と、この欠陥検出手段により検出された欠陥を観察視野内の中心に移動させ、その欠陥の大きさ情報からこの欠陥を観察するに適切な大きさに拡大する機能を有する制御手段とを備えたことを特徴とする欠陥検出用顕微鏡装置。

IPC (2件)：

G01N 21/88 , G02B 21/00

引用特許：

出願人引用 (9件)

特開平3-296011
異物観察装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-027797 出願人：株式会社日立製作所
画像伝送方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-270770 出願人：株式会社ニコン

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審査官引用 (8件)

特開平3-296011
特開平4-061356
異物観察装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-027797 出願人：株式会社日立製作所

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