特許

J-GLOBAL ID：200903046196503515

流体を処理してマイクロバブルを減ずる方法および装置

発明者： ザーカ, ジョセフ ,  ウー, アイウェン
出願人/特許権者： エンテグリース,インコーポレイテッド
代理人 (3件)： 山本 秀策 ,  安村 高明 ,  森下 夏樹
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-509034
公開番号（公開出願番号）：特表2008-539075
出願日： 2006年04月25日
公開日（公表日）： 2008年11月13日
要約：

本発明のバージョンは、熱または質量交換デバイスによって処理された液体中のマイクロバブルを減じる方法を含む。交換デバイスは、割れ目または表面の中の気体が液体によって移動させられることによって調整され得る。上記方法は、低減されたマイクロバブルの数を有する液体を準備するために使用され得る。流体中のマイクロバブルを減ずる本発明の実施形態におけるアプローチは、筐体の割れ目などバブルの凝集部位を最小にすることを含む。

請求項（抜粋）：

1つ以上の気体捕捉の表面特徴を有する交換デバイスと、 該交換デバイスのための筐体であって、液体の入口および液体の出口を有する、筐体と、 該交換デバイスの該表面特徴と接触して、該交換デバイスによって処理される液体であって、該接触は、該交換デバイスの該表面特徴を経由した該液体中のマイクロバブルの量を、該液体が該交換デバイスの該表面特徴と接触しない場合よりも少ない量に減少させる、液体と を備えている、装置。

IPC (5件)：

B01F 1/00 ,  H01L 21/027 ,  B01D 19/00 ,  B01F 5/06 ,  G03F 7/26

FI (5件)：

B01F1/00 A ,  H01L21/30 564Z ,  B01D19/00 H ,  B01F5/06 ,  G03F7/26

Fターム (9件)：

2H096AA25 ,  2H096DA10 ,  2H096LA16 ,  4D011AA08 ,  4D011AA17 ,  4G035AA01 ,  4G035AC26 ,  5F046JA03 ,  5F046JA09

引用特許：

審査官引用 (1件)

• フィルタ装置及び液処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-304362   出願人：東京エレクトロン株式会社