特許

J-GLOBAL ID：200903046236411627

パルスX線照射装置

発明者： 近藤 洋行 ,  神高 典明
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-343482
公開番号（公開出願番号）：特開平9-184900
出願日： 1995年12月28日
公開日（公表日）： 1997年07月15日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 試料やレジストなどの被照射物への積算X線照射量が、予め設定されたX線照射量に一致するように、或いは許容範囲内に納まるように、短時間にX線照射を行うことができるパルスX線照射装置を提供する。【解決手段】 被照射物117上の被照射領域内に照射されたX線の量を検出するか、或いは推定するX線量検出部118、121と、照射すべきX線量の設定値を記憶する記憶部と、検出または推定されたX線量を積算すると共に、その積算量をX線量設定値と比較する演算部と、パルス励起エネルギービーム108の強度を検出するか、或いは推定するビーム強度検出部110と、パルス励起エネルギービーム108の強度を変化させるビーム強度調整部と、前記X線量検出部118、121、記憶部、演算部、ビーム強度検出部110、及びビーム強度調整部の動作を制御する制御部122と、を具備する。

請求項（抜粋）：

減圧された真空容器内の標的部材にパルス励起エネルギービームを照射してプラズマを形成させ、該プラズマからX線を取り出して被照射物に照射するパルスX線照射装置において、前記被照射物上の被照射領域内に照射された前記X線の量を検出するか、或いは推定するX線量検出部と、該X線量検出部により検出または推定されたX線量、その積算量及び前記被照射物に照射すべきX線量の設定値を記憶する記憶部と、前記検出または推定されたX線量を積算すると共に、その積算量を前記X線量設定値と比較する演算部と、前記パルス励起エネルギービームの強度を変化させるビーム強度調整部と、前記X線量検出部、記憶部、演算部、及びビーム強度調整部の動作を制御する制御部と、を具備したことを特徴とするパルスX線照射装置。

IPC (3件)：

G21K 5/02 ,  H05G 2/00 ,  H05G 1/44

FI (3件)：

G21K 5/02 X ,  H05G 1/44 A ,  H05G 1/00 K

引用特許：

審査官引用 (4件)

• X線光源装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-257640   出願人：オリンパス光学工業株式会社
• 特開平1-280313
  
• 特開平3-068185
  
• 特開昭60-169136