特許

J-GLOBAL ID：200903046260038015

光偏向器及びその製造方法、それを用いた光学機器

発明者： 中井 法行 ,  島田 康弘 ,  虎島 和敏
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (2件)： 西山 恵三 ,  内尾 裕一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-426308
公開番号（公開出願番号）：特開2005-181926
出願日： 2003年12月24日
公開日（公表日）： 2005年07月07日
要約：

【課題】 小型低消費電力の光偏向器を提供する。【解決手段】 磁性体を位置が高精度に制御できる中空部を有する光偏向器を提供する。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

支持基板に、 可動板の両端が弾性支持部でねじり軸を中心にねじり振動自在に支持され、 前記可動板の一方の面には反射面が形成され、 前記可動板を、前記支持基板に対して相対的に駆動させ、 前記反射面に入射する入射光を偏向する光偏向器であって、 前記可動板に少なくとも1つ以上の中空部が形成されていること、 を特徴とする光偏向器。

IPC (4件)：

G02B26/10 ,  B41J2/44 ,  B81B3/00 ,  B81C1/00

FI (4件)：

G02B26/10 104Z ,  B81B3/00 ,  B81C1/00 ,  B41J3/00 D

Fターム (7件)：

2C362BA17 ,  2C362BA18 ,  2H045AB06 ,  2H045AB10 ,  2H045AB16 ,  2H045AB73 ,  2H045BA02

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 走査ミラーの駆動装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-231156   出願人：松下電工株式会社
• 光偏向器及びこれを用いた表示装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-324092   出願人：日本ビクター株式会社