特許

J-GLOBAL ID：200903046261500707

波長検出装置

発明者： 若林 理 ,  榎波 龍雄 ,  永井 伸治
出願人/特許権者： 株式会社小松製作所
代理人 (1件)： 木村 高久 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-050952
公開番号（公開出願番号）：特開2000-249600
出願日： 1999年02月26日
公開日（公表日）： 2000年09月14日
要約：

【要約】【課題】被検出光がフッ素分子F2レーザの場合でも、基準光を使用して露光中に発振レーザ光Lのスペクトルの中心波長が変動しないようにする。【解決手段】被検出光がフッ素分子F2レーザ発光線の場合に、フッ素分子F2レーザ発光線に波長が近似し、かつ光強度が一定以上の炭素Cまたは鉄FeまたはナトリウムNaまたはフッ素FまたはマグネシウムMgまたはアルミニウムAlまたはアルゴンArまたはカルシウムCaまたはスカンジウムScまたはクロムCrまたはマンガンMnまたはニッケルNiまたは銅CuまたはゲルマニウムGeまたは砒素Asまたは臭素Brまたは白金Ptのうち一つ以上の発光線を基準光として用いるようにする。

請求項（抜粋）：

基準光源で発光される基準光の波長に基づいて、被検出光源から出力される被検出光の波長を検出する波長検出装置において、前記被検出光がフッ素分子F2レーザ発光線の場合に、フッ素分子F2レーザ発光線に波長が近似し、かつ光強度が一定以上の炭素Cまたは鉄FeまたはナトリウムNaまたはフッ素FまたはマグネシウムMgまたはアルミニウムAlまたはアルゴンArまたはカルシウムCaまたはスカンジウムScまたはクロムCrまたはマンガンMnまたはニッケルNiまたは銅CuまたはゲルマニウムGeまたは砒素Asまたは臭素Brまたは白金Ptのうち一つ以上の発光線を前記基準光として用いるようにした波長検出装置。

IPC (6件)：

G01J 3/10 ,  G01J 3/18 ,  G01J 3/26 ,  H01L 21/027 ,  H01S 3/00 ,  H01S 3/139

FI (7件)：

G01J 3/10 ,  G01J 3/18 ,  G01J 3/26 ,  H01S 3/00 G ,  H01S 3/139 ,  H01L 21/30 515 B ,  H01L 21/30 516 Z

Fターム (34件)：

2G020AA05 ,  2G020BA02 ,  2G020BA20 ,  2G020CA01 ,  2G020CA12 ,  2G020CB04 ,  2G020CB06 ,  2G020CB23 ,  2G020CB43 ,  2G020CC02 ,  2G020CC23 ,  2G020CC27 ,  2G020CC47 ,  2G020CC48 ,  2G020CC52 ,  2G020CC63 ,  2G020CD03 ,  2G020CD06 ,  2G020CD23 ,  2G020CD24 ,  2G020CD39 ,  5F046BA04 ,  5F046CA04 ,  5F046DA01 ,  5F046DB01 ,  5F046DC01 ,  5F072AA04 ,  5F072HH02 ,  5F072JJ13 ,  5F072KK07 ,  5F072KK18 ,  5F072KK30 ,  5F072RR05 ,  5F072YY09

引用特許：

審査官引用 (9件)

• 狭帯域レーザ装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-253266   出願人：日本電気株式会社
• 特開平4-163980
  
• エキシマレーザー用光学材料及びその試験方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-324773   出願人：日本石英硝子株式会社, 山口日本石英株式会社
• 特開平2-238685
  
• 特開平4-163980
  
• 特開平2-238685
  
• 特開平4-163980
  
• 特開平2-238685
  
• 特開昭63-236944
  

引用文献：

審査官引用 (17件)

• “Wavelengths and Transition Probabilities for Atoms and Atomic Ions - Part I. Wavelengths”
• “The Spectra of Argon in the Extreme Ultraviolet”
• “Wavelengths and intensities of a platinum/neon hollow cathode lamp in the region 1100-4000 Å”
• “Transition probabilities for forbidden lines in the 3p4 configuration - III”
• “Magnetic dipole transitions in the beryllium isoelectronic sequence”
• “Extended Analysis of Cr V”
• “Extended analysis of Ni IV”
• “Wavelengths and Transition Probabilities for Atoms and Atomic Ions - Part I. Wavelengths”
• “The Spectra of Argon in the Extreme Ultraviolet”
• “Wavelengths and intensities of a platinum/neon hollow cathode lamp in the region 1100-4000 Å”
• “Transition probabilities for forbidden lines in the 3p4 configuration - III”
• “Magnetic dipole transitions in the beryllium isoelectronic sequence”
• “Wavelengths and Transition Probabilities for Atoms and Atomic Ions - Part I. Wavelengths”
• “The Spectra of Argon in the Extreme Ultraviolet”
• “Wavelengths and intensities of a platinum/neon hollow cathode lamp in the region 1100-4000 Å”
• “Transition probabilities for forbidden lines in the 3p4 configuration - III”
• “Magnetic dipole transitions in the beryllium isoelectronic sequence”