特許

J-GLOBAL ID：200903046273551366

偏光測定装置

発明者： 深沢 知行 ,  佐野 充 ,  吉田 裕
出願人/特許権者： 日本分光株式会社
代理人 (1件)： 岩橋 祐司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-248386
公開番号（公開出願番号）：特開平8-086744
出願日： 1994年09月16日
公開日（公表日）： 1996年04月02日
要約：

【要約】【構成】 検出器30の出力から、変調周波数ω成分及び/または2倍高調波である2ω成分を抽出するロックインアンプ31と、前記ロックインアンプ31の出力するω成分及び/または2ω成分から、進相軸または遅相軸と、前記入射偏光軸との位相差を演算する演算手段32と、前記演算手段32の出力する位相差に応じて前記サンプルステージ26を回転させ、前記進相軸または遅相軸と、入射偏光軸とを一致させて軸出しを行なうステージ駆動手段34と、を備えたことを特徴とする偏光測定装置。【効果】 精度よく自動的に軸出しを行なうことができる。

請求項（抜粋）：

光源から出光された光に所定の直線偏光を与える偏光子と、光に所定変調周波数ωで変調を与える光弾性変調子と、被測定試料を載置し、前記偏光及び変調の与えられた入射光に対しその光軸回りで回転位置を変更し得るサンプルステージと、前記サンプルステージ上の被測定試料を介した光強度を測定する検出器と、を備えた偏光測定装置において、前記検出器の出力から、変調周波数ω成分及び/または2倍高調波である2ω成分を抽出するロックインアンプと、前記ロックインアンプの出力するω成分及び/または2ω成分から、進相軸または遅相軸と、前記入射偏光軸との位相差を演算する演算手段と、前記演算手段の出力する位相差に応じて前記サンプルステージを回転させ、前記進相軸または遅相軸と、入射偏光軸とを一致させて軸出しを行なうステージ駆動手段と、を備えたことを特徴とする偏光測定装置。

IPC (2件)：

G01N 21/23 ,  G01J 4/04

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平2-242137
  
• 位相差測定方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-156632   出願人：カシオ計算機株式会社
• 複屈折分布測定方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-301443   出願人：中井貞雄, 財団法人レーザー技術総合研究所, 富士電機株式会社