エリアビ-ム型電子線照射装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：成田擴其
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-288837
公開番号（公開出願番号）：特開平7-122213
出願日： 1993年10月26日
公開日（公表日）： 1995年05月12日
要約：

【要約】【目的】背後電極により電子線の引出し効率を向上させること。【構成】フィラメント2からの熱電子は、フィラメントを囲むシールド電極3の開口部に設けられたメッシュ4を通して引出される。シールド電極及びメッシュは直流バイアス電源9により、フィラメントに対し正電位にバイアスされている。フィラメントの背後に、フィラメントと同電位の背後電極14を設ける。背後電極により、フィラメントからの電子がシールド電極方向に誘導されて、同電極で捕捉されるのを防ぐ。

請求項（抜粋）：

フィラメントからの熱電子がシールド電極の開口部に設けられたメッシュを通して引出されるエリアビーム型電子線照射装置において、前記シールド電極とメッシュがフィラメントに対し正電位にバイアスされていると共に、前記フィラメントの背後にフィラメントと同電位の背後電極が設けられていることを特徴とするエリアビ-ム型電子線照射装置。

IPC (3件)：

H01J 37/06 , G21K 5/04 , G21K 5/10

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開平3-002600
特開昭61-183859
特公昭52-014583

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