特許
J-GLOBAL ID:200903032090294827
改善した並列フィラメント電子銃
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
古谷 馨 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-306919
公開番号(公開出願番号):特開平5-225934
出願日: 1992年11月17日
公開日(公表日): 1993年09月03日
要約:
【要約】 (修正有)【目的】 幅を変化させることができ、また改善されたビームの均一性を達成できまた有する極端に広い幅の構造的特徴を有する電子銃を提供する。【構成】 電子ビーム放射加速器又は発生器及び同様の機器のための新規な並列フィラメント型の電子銃で、電子を発生するための、複数の縦方向に延び、横方向に平行して隔てられ、下方の同一の広がりを有する抽出器グリッドGと電子ビーム特性を形成するための上方の同一の広がりを有する静電レンズESL表面との間に延びたほぼ同一平面上の類似したフィラメントFを備える。
請求項(抜粋):
照射される表面の行程の縦方向に対して横方向に沿った電子ビーム放射を発生する電子ビーム銃であって、同時にそれを通って通過する電流により加熱されたときに電子を発生する複数の縦方向に伸びた平行な横方向に隔てられたほぼ同一平面の類似したフィラメントと、前記フィラメントの一方の側面から隔てられ該フィラメントの領域とほぼ同一の広がりを有し、各フィラメントから抽出器グリッドへの及びそれを通る電子の流れを修正して所望の均一性と特性とを有する連続的な横方向に発生する電子ビームを形成するように該フィラメントに関して同一の極性のほぼ平面の抽出器グリッドとを組み合わせて有することを特徴とする電子ビーム銃。
IPC (2件):
引用特許:
審査官引用 (11件)
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特開昭54-101658
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特開昭61-183859
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特開昭55-126196
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特開昭62-165983
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電子顕微鏡等の試料装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-044370
出願人:日本電子株式会社
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プラズマ生成装置およびイオンプレーティング方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平5-059240
出願人:株式会社ニコン
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極低温冷却装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平6-286599
出願人:アイシン精機株式会社
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特許第3863163号
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特許第3956712号
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エネルギー分散型X線分析装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-165294
出願人:日本電子株式会社
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Ge半導体検出器
公報種別:公開公報
出願番号:特願平5-230548
出願人:株式会社東芝, 岩谷産業株式会社, イワタニプランテック株式会社
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