基板端縁洗浄装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：吉田茂明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-016695
公開番号（公開出願番号）：特開平6-204131
出願日： 1993年01月05日
公開日（公表日）： 1994年07月22日
要約：

【要約】【目的】複数種類のリンス液を順次、基板端縁に吐出して洗浄することができる基板端縁洗浄装置を提供する。【構成】第1のリンス液を貯留するボトル28aを備えた第1のリンス液供給ユニット27aが設けられ、この第1のリンス液供給ユニット27aからの第1のリンス液が第1および第2のリンス液吐出ユニット24a,24bに供給され、角型基板1の端縁に向けて吐出される。また、第1のリンス液とは種類の異なる第2のリンス液としての溶剤を貯留するボトル28bを備えた第2のリンス液供給ユニット27bが設けられ、この第2のリンス液供給ユニット27bからの第2のリンス液が第1および第2のリンス液吐出ユニット24a,24bに供給され、第1のリンス液が吐出された角型基板1の端縁部に向けて吐出される。

請求項（抜粋）：

一方主面に薄膜が形成された基板を載置保持する基板保持手段と、該基板保持手段によって保持された基板の両主面うちの少なくともいずれか一方の主面において、該主面の端縁に第1のリンス液を吐出する第1のリンス液吐出手段と、該主面端縁に第1のリンス液とは異なる第2のリンス液としての溶剤を吐出する第2のリンス液吐出手段とを備え、前記第1のリンス液吐出手段によって前記基板の端縁に前記第1のリンス液を吐出した後、さらに該端縁に前記第2のリンス液吐出手段によって前記溶剤を吐出して、前記基板端縁を洗浄することを特徴とする基板端縁洗浄装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 , B08B 11/02 , G03F 1/08

引用特許：

審査官引用 (6件)

半導体装置の製造方法及びこれに使用できる基板洗浄装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-276506 出願人：ソニー株式会社
特開平3-256321
特公平3-078777

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