オートフォーカス装置及びその方法

発明者： , , , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (12件)：鈴江武彦 , 河野哲 , 中村誠 , 蔵田昌俊 , 峰隆司 , 福原淑弘 , 白根俊郎 , 村松貞男 , 野河信久 , 砂川克 , 橋本良郎 , 風間鉄也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-312952
公開番号（公開出願番号）：特開2008-146060
出願日： 2007年12月04日
公開日（公表日）： 2008年06月26日
要約：

【課題】顕微光学観測装置に応用されるオートフォーカス装置及びその方法を提供する。【解決手段】オートフォーカス装置及びその方法を提供した。このオートフォーカス装置は、光線の経路を変えるビームスプリッタセットと、ビームスプリッタセットの第1側に配置され主動的なレーザー光を提供するレーザー光源と、ビームスプリッタセットと試験物体との間に配置され試験物体からの反射光を屈折させる対物レンズと、ビームスプリッタセットの第2側に配置され対物レンズからの反射光を屈折させて光斑を発生させるレンズセットと、レンズセットに対応して配置され光斑を検出して駆動信号を発生させる光検波装置と、光検波装置と電気的に接続され駆動信号を検出して対物レンズと試験物体との相対距離を調整する駆動装置とを備えてなることを特徴とする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

光線の経路を変えるビームスプリッタセットと、前記ビームスプリッタセットの第1側に配置され、主動的なレーザー光を提供するレーザー光源と、前記ビームスプリッタセットと試験物体との間に配置され、前記試験物体からの反射光を屈折させる対物レンズと、前記ビームスプリッタセットの第2側に配置され、前記対物レンズからの前記反射光を屈折させて光斑を発生させるレンズセットと、前記レンズセットに対応して配置され、前記光斑を検出して駆動信号を発生させる光検波装置と、前記光検波装置と電気的に接続され、前記駆動信号を検出して前記対物レンズと前記試験物体との相対距離を調整する駆動装置と、を備えてなることを特徴とするオートフォーカス装置。

IPC (4件)：

G02B 7/09 , G02B 7/28 , G02B 21/24 , H04N 5/232

FI (4件)：

G02B7/11 P , G02B7/11 J , G02B21/24 , H04N5/232 J

Fターム (20件)：

2H051AA11 , 2H051BA25 , 2H051CB02 , 2H051CB19 , 2H051CC03 , 2H052AA01 , 2H052AC27 , 2H052AC34 , 2H052AD03 , 2H052AD09 , 2H052AD18 , 2H052AD20 , 2H052AF21 , 5C122DA12 , 5C122EA55 , 5C122FA05 , 5C122FD01 , 5C122FD04 , 5C122HB01 , 5C122HB06

引用特許：

審査官引用 (5件)

表面画像投影装置及び方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-096466 出願人：株式会社東京精密
特開平4-158320
特開昭64-055513

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