特許

J-GLOBAL ID：200903052272221214

表面画像投影装置及び方法

発明者： 黒沢 俊郎
出願人/特許権者： 株式会社東京精密
代理人 (1件)： 石田 敬 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-096466
公開番号（公開出願番号）：特開2000-294608
出願日： 1999年04月02日
公開日（公表日）： 2000年10月20日
要約：

【要約】【課題】 フォーカスの振動がなく、所望の層に安定してフォーカス合わせができる表面画像投影装置及び方法の実現。【解決手段】 板状物体1 の表面の一部を投影する投影手段21,53,56を、板状物体の表面に沿って相対移動させ、各位置での投影画像を合わせて板状物体の表面全体の画像を得る表面画像投影装置であって、板状物体の表面の複数箇所の高さを測定する表面高さ検出手段31〜37と、測定した複数箇所の高さから板状物体の表面形状を演算して記憶する表面形状データ記憶手段39と、投影手段の板状物体の表面に対するフォーカス状態を変化させる焦点調整手段10と、投影手段を板状物体の表面に沿って相対移動させる時に、表面形状データ記憶手段に記憶された板状物体の表面形状に応じて焦点調整手段10を制御するフォーカス制御手段12とを備える。

請求項（抜粋）：

板状物体の表面の一部を投影する投影手段を、前記板状物体の表面に沿って相対移動させ、各位置での投影画像を合わせて前記板状物体の表面全体の画像を得る表面画像投影装置であって、前記板状物体の表面の複数箇所の高さを測定する表面高さ検出手段と、測定した前記複数箇所の高さから前記板状物体の表面形状を演算して記憶する表面形状データ記憶手段と、前記投影手段の前記板状物体の表面に対するフォーカス状態を変化させる焦点調整手段と、前記投影手段を前記板状物体の表面に沿って相対移動させる時に、前記表面形状データ記憶手段に記憶された前記板状物体の表面形状に応じて前記焦点調整手段を制御するフォーカス制御手段とを備えることを特徴とする表面画像投影装置。

IPC (2件)：

H01L 21/66 ,  G02B 7/28

FI (2件)：

H01L 21/66 J ,  G02B 7/11 H

Fターム (19件)：

2H051AA10 ,  2H051AA11 ,  2H051AA15 ,  2H051BA32 ,  2H051BA37 ,  2H051CB20 ,  2H051CB22 ,  2H051GB12 ,  4M106AA01 ,  4M106BA04 ,  4M106CA38 ,  4M106DB02 ,  4M106DB18 ,  4M106DB21 ,  4M106DJ04 ,  4M106DJ11 ,  4M106DJ18 ,  4M106DJ20 ,  4M106DJ21

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 領域の検出方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-138276   出願人：株式会社ディスコ