特許

J-GLOBAL ID：200903046328440542

センサにおける膜応力を補償する回路および方法

発明者： イラ・イー・バスケット ,  アンドリュー・シー・マックネイル
出願人/特許権者： モトローラ・インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 大貫 進介 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-279406
公開番号（公開出願番号）：特開平10-111200
出願日： 1997年09月29日
公開日（公表日）： 1998年04月28日
要約：

【要約】【課題】 センサ(100)の検出信号を補正する回路および方法を提供する。【解決手段】 センサ(100)の検出信号は、膜応力によってセンサ構造(101)内に混入される負の非線形誤差成分によって減少する。大きな曲げ応力を有する位置(203)に第1変換器(103)を配置して、線形成分および非線形誤差成分を有する検出信号を発生する。曲げ応力がほぼゼロの位置(202)に第2変換器(102)を配置して、非線形誤差成分を有するが線形成分がほぼゼロの検出信号を発生する。第2変換器(102)からの検出信号を、第1変換器(103)からの検出信号に加算して非線形誤差を補正し、物理状態を表わすセンサ(100)の線形出力検出信号(VOUT )を発生する。

請求項（抜粋）：

センサであって:物理状態に応答し、曲げがほぼゼロの第1位置(202)を有する検出構造(101,108);および前記第1位置(202)に配置され、前記検出構造における膜応力を第1検出信号に変換する第1変換器(102);から成ることを特徴とするセンサ。

IPC (2件)：

G01L 9/04 101 ,  H01L 29/84

FI (2件)：

G01L 9/04 101 ,  H01L 29/84 B

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭54-051489
  
• 特開昭54-051489
  
• 特開昭63-191936
  
• 耐圧防爆型ロードセル
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-016040   出願人：川鉄アドバンテック株式会社