合成石英ガラスおよびその製造方法

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-399666
公開番号（公開出願番号）：特開2003-201125
出願日： 2001年12月28日
公開日（公表日）： 2003年07月15日
要約：

【要約】【課題】波長157.6nmおける光透過率が安定している合成石英ガラスを得る。【解決手段】(a)ガラス形成原料を火炎加水分解して得られる石英ガラス微粒子を基材に堆積・成長させて多孔質石英ガラスを形成する工程と、(b)該多孔質石英ガラスのOH基含有量の低減を行う工程と、(c)該多孔質石英ガラスを、フッ素化合物含有雰囲気下にて処理し、多孔質石英ガラスにフッ素をドープする工程と、(d)該多孔質石英ガラスを、断熱材、試料容器、試料台およびヒーター材料がカーボンではない電気炉にて、1300°C以上の温度に昇温して透明ガラス化し、フッ素を含有した透明石英ガラス体を得る工程と、を含むことを特徴とする

請求項（抜粋）：

波長180nm以下の光を光源とする光学装置の光学部材用合成石英ガラスの製造方法において、(a)ガラス形成原料を火炎加水分解して得られる石英ガラス微粒子を基材に堆積・成長させて多孔質石英ガラスを形成する工程と、(b)該多孔質石英ガラスのOH基含有量の低減を行う工程と、(c)該多孔質石英ガラスを、フッ素化合物含有雰囲気下にて処理し、多孔質石英ガラスにフッ素をドープする工程と、(d)該多孔質石英ガラスを、断熱材、試料容器、試料台およびヒーター材料がカーボンではない電気炉にて、1300°C以上の温度に昇温して透明ガラス化し、フッ素を含有した透明石英ガラス体を得る工程と、を含むことを特徴とする合成石英ガラスの製造方法。

IPC (4件)：

C03B 8/04 , C03B 20/00 , G02B 1/00 , H01L 21/027

FI (5件)：

C03B 8/04 P , C03B 20/00 F , C03B 20/00 Z , G02B 1/00 , H01L 21/30 515 D

Fターム (6件)：

4G014AH00 , 4G014AH14 , 5F046CB10 , 5F046CB12 , 5F046CB17 , 5F046CB19

引用特許：

審査官引用 (5件)

特表平7-507034
特表平7-507034
合成石英ガラスの製造装置およびそれを用いた製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-216130 出願人：株式会社ニコン

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